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測試服務(wù)

測試服務(wù)

Testing service

薄膜應(yīng)力測試
儀器簡介:
薄膜應(yīng)力儀,系統(tǒng)采用非接觸MOS激光技術(shù);不但可以對薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進行精確的測量,而且還可二維應(yīng)力Mapping成像統(tǒng)計分析;同時可精確測量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系;
技術(shù)參數(shù):
1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍:300mm;2m (XY)(可選); 
2.掃描速度:20mm/s(x,y); 
3. XY雙向掃描平臺掃描*小步進/分辨率:1 μm; 
4.平均曲率分辨率:2×10-5 1/m (1-sigma); 
5.中心曲率測量范圍:Minimum Concave: 2.0m,Minimum Convex: -2.0m; 
                               Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km; 
6.應(yīng)力測量精度:1% 或0.32MPa; 
7.中心應(yīng)力測量范圍:Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa; 
                               Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa
8.應(yīng)力測量分辨:0.32MPa;
9.平均應(yīng)力重復(fù)性:0.02MPa;
10.Bow測量高度:0.67mm;
11.Bow測量分辨率:30nm;



為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?
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