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MEMS加工

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光刻
  • 接觸式光刻
    最小圖形尺寸:1μm,套刻精度:±0.5μm
  • 步進(jìn)式光刻
    投影比例1:5,最小圖形尺寸:0.35μm 套刻精度≤0.15μm(X,Y),曝光范圍<22.5*22.5mm
  • 電子束光刻
    最小圖形尺寸:10nm,套刻精度:40nm 曝光范圍<直徑75mm
  • 雙面對準(zhǔn)光刻
    最小圖形尺寸:1μm,正面套刻精度:±0.5μm 背面套刻精度:±0.5μm
  • 勻膠/顯影
    正膠:50nm~20μm,負(fù)膠:50~400nm
  • 噴膠
    單次厚度<2μm
  • 熱板/烘箱
    熱板溫度<180℃,烘箱溫度<350℃




案例展示


                                    

                 納米線@PMMA CD 8nm                二維光柵 with CD 50nm                  變直徑納米盤 誤差±5nm             Φ100um 光波導(dǎo) 線寬700nm








為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?
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2024-11-27

RIE是一種結(jié)合了物理濺射和化學(xué)反應(yīng)雙重機(jī)制的刻蝕技術(shù)。在等離子體中,離子和中性自由基共同作用于材料表面。其中,自由基的密度遠(yuǎn)高于離子,它們通...

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【半導(dǎo)體材料】電子封裝材料有哪些?
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2024-11-29

電子封裝材料作為連接芯片與外部世界的橋梁,其重要性不言而喻。合格的封裝不僅能夠?yàn)樾酒峁┪锢肀Wo(hù),實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格化的互連,更是確保電子產(chǎn)品性能...

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【MEMS工藝】三種常見CVD技術(shù),你知道的有哪些?
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2024-11-04

本文將詳細(xì)介紹目前三種常見的CVD技術(shù)——低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)以及高密度等離子體化學(xué)氣相沉...

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【微納加工】晶圓傳輸設(shè)備,是智能制造加速器還是成本黑洞?
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2024-11-05

在半導(dǎo)體芯片制造中,從原材料處理到最終封裝測試,整個(gè)流程涉及上千道工序,每一環(huán)節(jié)都需要精確控制,以確保芯片的性能與質(zhì)量。隨著科技的飛速發(fā)展,...

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