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測(cè)試服務(wù)

測(cè)試服務(wù)

Testing service

TEM(透射電子顯微鏡)
應(yīng)用:
透射電子顯微鏡在材料科學(xué) 、生物學(xué)上應(yīng)用較多。由于電子易散射或被物體吸收,故穿透力低,樣品的密度、厚度等都會(huì)影響到最后的成像質(zhì)量,必須制備更薄的超薄切片,通常為50~100nm。所以用透射電子顯微鏡觀察時(shí)的樣品需要處理得很薄。常用的方法有:超薄切片法、冷凍超薄切片法、冷凍蝕刻法、冷凍斷裂法等。對(duì)于液體樣品,通常是掛預(yù)處理過(guò)的銅網(wǎng)上進(jìn)行觀察。
樣品要求:
粉末樣品基本要求:
(1)單顆粉末尺寸最好小于1μm;
(2)無(wú)磁性;
(3)以無(wú)機(jī)成分為主,否則會(huì)造成電鏡嚴(yán)重的污染,高壓跳掉,甚至擊壞高壓槍?zhuān)?br /> 塊狀樣品基本要求:
(1)需要電解減薄或離子減薄,獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察;
(2)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等機(jī)械方法制成粉末來(lái)觀察;
(3)無(wú)磁性;
用途
X射線能譜在透射掃描電鏡中與掃描功能配合可得元素分布圖。應(yīng)用電子通道增強(qiáng)效應(yīng)還可以測(cè)定雜質(zhì)元素或合金元素在有序化合物中占據(jù)亞點(diǎn)陣位置的百分?jǐn)?shù)。
優(yōu)點(diǎn)
(1)能譜儀探測(cè)X射線的效率高;
(2)在同一時(shí)間對(duì)分析點(diǎn)內(nèi)所有元素X射線光子的能量進(jìn)行測(cè)定和計(jì)數(shù),在幾分鐘內(nèi)可得到定性分析結(jié)果,而波譜儀只能逐個(gè)測(cè)量每種元素特征波長(zhǎng);
(3)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,穩(wěn)定性和重現(xiàn)性都很好;
(4)不必聚焦,對(duì)樣品表面無(wú)特殊要求,適于粗糙表面分析。

為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?
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2024-11-27

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2024-11-29

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2024-11-04

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2024-11-05

在半導(dǎo)體芯片制造中,從原材料處理到最終封裝測(cè)試,整個(gè)流程涉及上千道工序,每一環(huán)節(jié)都需要精確控制,以確保芯片的性能與質(zhì)量。隨著科技的飛速發(fā)展,...

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