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  • 電子束光刻充電效應
    電子束光刻充電效應

    2023-07-28

    當我們使用電子束光刻做pattern時,有時候會發(fā)現在一些特殊情況下,無法獲得完美的圖形(圖形變形、斷線等),這種情況極有可能是因為電子束光刻的充電...

  • LIGA電鑄技術
    LIGA電鑄技術

    2023-07-26

    我們知道,在微納米技術的發(fā)展中MEMS一直是一個重要的應用方向,MEMS技術在尺度上的特點是橫跨1um到1mm尺度且結構復雜,除了常規(guī)我們使用的...

  • PECVD工藝
    PECVD工藝

    2023-07-26

    PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition)是等離子增強化學氣相淀積,該技術是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極...

  • MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉積
    MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉積

    2023-07-25

    MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition(金屬有機化合物化學氣相沉積設備),是在氣相外延(VPE)的基礎上發(fā)展起來的一...

  • MEMS傳感器的分類及介紹
    MEMS傳感器的分類及介紹

    2023-07-25

    MEMS傳感器種類繁多,主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環(huán)境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計,&...

  • lift-off工藝中“毛刺”的產生和改善措施
    lift-off工藝中“毛刺”的產生和改善措施

    2023-07-25

    在材料、微電子等研究課題中,制作高品質的電極是準確反映材料或者器件本身性能的前提條件,為此我們需要制作一個高品質的電極。在此,光刻中剝離(li...

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