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MEMS代工的壓力傳感器設(shè)計制造步驟

點(diǎn)擊量：1136 日期：2022-07-23 編輯：硅時代

MEMS代工的壓力傳感器是一種薄膜元件，它在受到外部的壓力時會發(fā)生變形，可以通過電容感測兩個面之間的距離變化來加以測量，通常應(yīng)用于汽車行業(yè)，醫(yī)療市場和工業(yè)領(lǐng)域。MEMS壓力傳感器是具有電源，接口電器，執(zhí)行器，微型傳感器和信號處理的微型機(jī)電系統(tǒng)，尺寸小，性價比高。

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