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傳統(tǒng)集成電路代工和mems代工模式的差異
點擊量:2400 日期:2020-07-14 編輯:硅時代
正常來講集成電路代工和MEMS代工是兩類不同的代工模式;
集成電路代工是制作各類集成電路產(chǎn)品的代工,關(guān)注的是電學(xué)性能,對環(huán)境的各類壓力,流量,磁場等物理參數(shù)不關(guān)注;而MEMS代工是制作尺寸在微米級的微型傳感器的制造方法,器件重點關(guān)注的就是環(huán)境的各類壓力,流量,磁場等物理參數(shù)的反饋;
到了運用端,之前根據(jù)各類運用場景的需要,是在同一主板或封裝體進行各類集成電路產(chǎn)品和MEMS產(chǎn)品的組合運用,隨著技術(shù)的發(fā)展和運用端的要求,業(yè)界需求同一芯片同時具備集成電路和MEMS產(chǎn)品的功能以降低成本和拓展運用,這樣就需要將集成電路代工和MEMS代工集成到一起,同時實現(xiàn)兩種類型的功能。
集成電路mems代工通過優(yōu)化工藝,實現(xiàn)集成電路和MEMS的有效集成,通常有兩種路徑;一種是在集成電路工藝后端增加MEMS工藝來實現(xiàn);第二種則是在兩片襯底分別進行集成電路和MEMS的加工,最后通過晶圓及鍵合的方式,實現(xiàn)集成電路和MEMS有效集成。
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