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加速度計mems加工工藝
點擊量：1468 日期：2020-04-07 編輯：硅時代
MEMS加速度傳感器是一個力傳感器，通過測量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時產(chǎn)生的力來測得加速度，包括彈性梁、質(zhì)量塊、固定框幾個部分，其加速度計MEMS加工加工工藝如下：
1.
制作壓敏電阻，需要用到離子注入工藝、熱推井工藝、熱氧化工藝的等摻雜工藝;
2.
制作質(zhì)量塊，需要用到干法深硅刻蝕工藝和濕法KOH硅腐蝕工藝等體加工工藝;
3.
釋放梁和質(zhì)量塊,需要用到干法和濕法釋放工藝;
4. 制作“三明治”結(jié)構(gòu)，利用鍵合工藝來實現(xiàn).
